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INFICON UL1000 氦質(zhì)譜檢漏儀

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：美國(guó)更新時(shí)間：2020-10-16 14:35

品  牌：Inficon型  號(hào)：INFICON

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1207

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)參數(shù)

最小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)）

＜5×10-12mbar.l/s

最小可檢漏率（吸入器模式）

＜3×10-8mbar.l/s

入口壓強(qiáng)                粗檢模式

                        精檢模式

                        超精檢模式

15 mbar

2 mbar

0.4 mbar

在抽空過程中的抽速

25立方米/小時(shí)

入口壓強(qiáng)對(duì)氦氣抽速      粗檢模式

                        精檢模式

                        超精檢模式

8 升/秒

7升/秒

2.5升/秒

可檢質(zhì)量數(shù)

2、3、4amu, 氫，3氦，氦

電源電壓

110－120V；220－241V

重量

110公斤；242磅

尺寸，包括手把（長(zhǎng)×寬×高）

1068×525×850毫米


產(chǎn)品介紹

UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀的詳細(xì)資料：

INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測(cè)試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動(dòng)，移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性。

UL1000符合做微電子工業(yè)市場(chǎng)的要求。其特點(diǎn)從堅(jiān)固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL（智能化漏率計(jì)算系統(tǒng)）,無與倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長(zhǎng)時(shí)間平衡的程序。

系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進(jìn)自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。

UL1000具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測(cè)量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。

應(yīng)用：

半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵

工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝

元器件在組裝前的漏率測(cè)試

要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合



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